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恒溫恒濕機在基板曝光前，能有效維持其表面溫度的均一性。經過此設備處理后的空氣，溫度控制精度可達目標值±0.01℃，充分滿足制程環境對溫控的要求。

制冷加熱循環系統 溫度控制恒溫循環器產品廣泛應用于國內外科學研究和工藝開發、新能源汽車、生物技術、醫藥行業、航空航天、半導體、醫療技術等行業。